JKSPE
Micromolding in Capillaries와 Microtransfer Molding법을 이용한 역테이퍼 구조물을 가지는 이방성 소유성 표면 제작
기름방울에도 젖지 않는 이방성 소유성 표면 제작 기술 개발
조영학/서울과학기술대학교
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기본적인 MEMS 공정과 모세관내 미세몰딩(MIMC, Micromolding in Capillaries) 및 미세전사몰딩(Microtransfer Molding)법을 이용한 소유성 표면 제작 공정 개발
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KOH (Potassium Hydroxide) 용액을 이용한 단결정 실리콘 웨이퍼의 이방성 에칭 특성에 의하여 항상 일정한 각도(54.7º)의 역테이퍼 구조물 제작
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기계적인 강성을 가지는 그루브 형태의 구조물 제작을 통해 이방성 젖음 특성을 가지는 소유성 표면 제작
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