IJPEM
Microchannel Fabrication on Glass Materials for Microfluidic Devices
미세 유체 칩 제작을 위한 유리 채널 가공 기술
김보현/숭실대학교
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미세 유체칩 재료로 많이 사용되는 폴리머 재료에 비해 열적/기계적 성질이 우수하고 내화학적 성질이 우수한 유리 재료의 미세 채널 가공 기술을 소개
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유리의 미세 가공을 위한 최신 기술을 화학적 방법, 기계적 방법, 레이저를 이용한 방법으로 분류하여 소개함.
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일반적으로 유리 가공에 많이 사용되는 etching 뿐만 아니라 전해방전, 마이크로절삭, 미세입자제트가공, 초음파 가공, laser induced backside wet etching(LIBWE)의 최신 사례를 소개함.
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