IJPEM
A Review of Thickness Measurements of Thick Transparent Layers Using Optical Interferometry
간섭계를 이용한 초정밀 두께 측정법의 최신 연구 동향
진종한/한국표준과학연구원
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두께는 반도체 소자와 디스플레이 패널을 포함한 다양한 첨단 제품 제조 공정에서 불량률 감소를 위해 가장 기본적으로 요구되는 검사·계측 파라미터임.
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본 논문에서는 고정밀·비접촉·비파괴 방식으로 두께를 측정할 수 있는 광간섭법을 이용한 선행연구들을 측정 원리에 따라 분류하고 기술적 특징을 소개함.
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간섭계를 이용한 측정법은 단파장 레이저와 광대역 광원을 이용하는 방법으로 크게 나뉘어지고, 광대역 광원을 이용한 방법은 시간축 및 파장축 측정법으로 분류할 수 있음
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최근까지 보고된 간섭계를 이용한 두께 측정법을 측정 영역, 정밀도, 측정 속도, 개선 가능성에 대해 비교·정리함으로써 기술적 특징과 적용 분야를 쉽게 파악할 수 있음
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