IJPEM

LASIE: Large Area Spectroscopic Imaging Ellipsometry for Characterizing Multi-Layered Film Structures
주기남 교수팀, 다층 박막 구조물의 대영역 3차원 구조 분석 상용화 기술 개발

주기남/조선대학교





영상분광타원계측기 (LASIE)를 이용하여 측정한 모자이크 패턴의 4층 박막 구조물의 구조 분석 결과

  • 주기남 교수(조선대) 연구팀이 반도체 및 디스플레이 분야에서 필수적인 요소인 다층 박막 구조물의 대영역 3차원 구조 분석 기술을 상용화하는데 성공했다.

  • 다층 박막 구조물은 기저층 위에 다양한 무기막 및 유기막 등이 도포되어 있고 물질 간의 특징을 통해 전자적인 특성이나 디스플레이 특성을 가질 수 있기 때문에 메모리, CPU와 같은 반도체 소자뿐만 아니라 LED, OLED 등과 같은 디스플레이 소자에 필수적인 요소이다. 이러한 다층 박막 구조물은 제조 공정 상에 측정 및 검사가 매우 중요하며, 보다 넓은 면적에서 측정이 수행되면, 기존의 공정보다 생산성 및 제품의 수율을 높일 수 있다.

  • 연구팀은 지난 2017년부터 분광타원계측 기술과 영상 분광 기술을 접목한 영상분광타원계측기에 대한 연구를 진행해왔으며, 실리콘 웨이퍼 위의 4층 이상의 무기막 구조물에 대한 분석을 수행하여 최근 연구 결과를 발표하였다.

  • 주기남 교수는 “비록 현재 다층 박막 구조물에 대한 대영역 측정 기술을 개발하였으나, 아직 다층 박막 연구에 있어 물질의 굴절률에 대한 분석 연구가 더욱 필요하다.”며 “향후 유기막에 대한 연구를 추가적으로 진행하여 현재 산업계의 애로 사항을 해결하겠다.”라고 설명했다.
 
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