JKSPE

Flexible Structured Illumination Microscope based on DMD and Focustunable Lens
전자기력 보상 방식 고정밀 저울을 위한 광학식 위치 센서 개발


최영만/아주대학교



  • 초정밀 중량 측정을 위한 나노미터급 광학식 위치 센서 개발

  • 프레넬 회절 모델을 이용한 파라미터 분석

  • 1 나노미터급의 분해능과 ±12.5 μm의 측정 범위

  • EMFC 웨잉셀 테스트베드 구현 및 반복능 시험
 
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