JKSPE
반도체 연마 균일도 향상을 위한 온도 제어 시뮬레이터 개발
반도체 연마 균일도 향상을 위한 온도 제어 시뮬레이터 개발
정해도/부산대학교
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CMP 공정 중 마찰에 의한 에너지 공급과 슬러리에 의한 에너지 손실을 고려하여 패드 온도 분포의 경향성을 나타내는 수학적 에너지 모델 개발
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생성된 모델을 통한 시뮬레이션으로 단일 노즐과 다중 노즐의 공급 조건 결정
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시뮬레이션과 실제 공정 결과를 비교하여 신뢰성을 검증하고, 패드온도 제어를 통해 연마균일도를 향상시킴
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