IJPEM

A Structured Illumination Microscope with the Combination of Optical Sectioning and Lateral Resolution Enhancement for Precise 3D Industrial Metrology
일반 현미경으로 보기 어려운 산업계의 미세 패턴을 3차원으로 측정하는 광계측 개발

Ki-Nam Joo/Chosun University

기존의 광학 현미경은 아베의 회절한계 이론에 의해 대물렌즈의 개구수 (Numerical aperture, N.A)에 의해 분해능이 결정되며, 이를 극복하기 위한 연구가 필요하다.
본 연구는 대물렌즈 각 초점에서 sinusoidal한 공간 패턴의 각도별 위상 천이를 통해 주파수 합성을 진행하며, 이후 3차원 형상 복원을 수행한다.
이를 실험적으로 검증하기 위해 분해능 시편과 1 um 표준 높이 시편을 측정하였으며, 변조 전달 함수 (Modulation transfer function, MTF)을 이용하여 횡방향 분해능을 평가하였다.